资产编号：01301523

设备名称：霍尔效应分析仪

设备型号：HMS-5500

生产厂家：韩国ECOPIA

设备简介

本设备采用范德堡测试法，用于测量半导体器件和材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、电导率以及霍尔系数等电学特性。可进行常温、低温、高温以及变温测试。

主要技术指标

1. 电阻率：10-4 ~107 Ω/cm。

2. 载流子浓度：107~1021 cm-3。

3. 输入电流：1 nA~20 mA。

4. 测量温度范围：100~773 K。

主要功能

用于测试半导体材料（如Si、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN、ZnO等）的电阻率、载流子浓度、迁移率、电阻率、电导率、霍尔系数等特性参数，分析半导体材料的导电特性和掺杂行为。

样品要求

样品为薄片，截面尺寸≤15×15 mm2，厚度≤2 mm。

安放地点：先进制造工程大楼西楼三楼C305室

联系人及联系方式：周老师    158 2707 4699