材料成形与模具技术全国重点实验室公共平台JAMP-9510F型场发射俄歇电子能谱仪已经安装调试完毕，于2023年5月8日起试运行，欢迎师生预约测试！

主要技术指标

1. 电子枪：采用肖特基场发射电子枪。

2. 俄歇电子能量侦测范围：0~2500 eV。

3. 俄歇电子能量分辨率：0.05~0.6%连续可调。

4. 俄歇空间分辨率：8 nm @ 1 nA @20  kV。

5. 俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.6%分析器能量分辨率）：≥840 kcps @10 nA @10 kV。　

6. 俄歇电子探测器：多通道探测器(MCD)。

7. 样品台：全自动5轴样品台。

8. 可执行样品荷电中和、样品表面清洁和深度剖析功能。

主要功能

1. 固体样品的纳米级表面元素分析，化学态分析；同XPS一样，可进行全谱宽扫，以及某元素的窄谱精扫。

2. 可定位到微区，对点、线、面进行采谱分析，也可得到面分布俄歇电子像。

3. 配合氩离子刻蚀，可以进行材料的深度剖析。

功能特色

1. 用于分析最表层范围在单层~十层（10 nm以下）的表面。

2. 锂（Li）原子序数以后的所有元素都能分析。

3. 能分析约10 nm的微小区域。

4. 能进行在1 nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深  度剖面分析。

5. 在某些情形下，根据谱峰形状的不同，可区分不同的化学结合状态。

6. 浓度的检测极限可达0.1at%。

7. 虽然存在有电子损伤、绝缘材料带电等问题，用低能中和离子枪大大地缓和了绝缘材料带电所带来的分析局限。

样品要求

1. 样品厚度不超过5 mm，截面尺寸不超过10 mm×10 mm。样品固定方式是用导电双面胶将观察面的背面贴在样品台上，所以要求与观察面相对的背面必须为平面，样品的厚度是指观察面与其背面之间距离。

2. 样品不含易挥发性物质，不可带有镶嵌料，在超高真空条件下不挥发。

3. 样品不含磁性物质，或消磁后不表现磁性。

4. 样品导电性良好。

5. 样品不含腐蚀性物质，剧毒性物质或放射性物质。

6. 样品干燥，不含结晶水，且样品本身不具有吸水性。

设备安放地点：先进制造工程大楼西楼一楼C101-3室

联系人及联系方式：高老师   15927327825

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