仪器名称：离子刻蚀仪

设备编号：02503693

设备型号：PECS II Model 685

生产厂家：美国Gantan公司

设备简介

本设备配有高、低能量潘宁式离子枪和液氮冷台控制系统，进行短时间离子束刻蚀可得到高质量扫描电镜样品。高能量离子枪可以快速抛光样品，低能量离子枪可以去除样品表面应力损伤层，从而进行高分辨SEM观察、EDS和EBSD分析时可获得样品的真实信息。

主要技术指标

1. 潘宁式离子枪：聚焦离子束设计，调整角度1º~18º，离子束能量0.1~8 keV。

2. 样品台：360º旋转，转速1~12 rpm连续可调。

3. 样品更换：气锁设计，更换时间<120 s，无需破坏样品室真空。

4. 液氮冷台控温系统：温度控制范围–150 ℃~室温，一次加注液氮续航能力至少4~6小时。

主要功能

用于制备各种材料的高质量扫描电镜样品。

样品要求

平面抛光、镀膜样品：直径φ≤30 mm，高度≤12 mm；截面切割样品：宽度≤10 mm。

安放地点：先进制造工程大楼西楼三楼C302室

联系人及联系方式：洪老师   132 3711 3691         柯老师   137 2038 0255