资产编号：01113798

设备名称：原位纳米力学测试系统

设备型号：TI750

生产厂家：美国Bruker

设备简介

本设备包含先进数控模块、原位SPM（扫描探针显微技术）成像、数码变焦光学系统、自动定位平台、计算机工作站、专用控制软件、环境隔离罩、防震隔离系统、压痕用Berkovich压头、标样等，可实现薄膜和块体材料的压痕、划痕、NanoDMA等测试。

主要技术指标

1. 纳米压痕测试单元：载荷范围10~30 mN、分辨率3 nN，位移范围0.2 nm~5 μm、分辨率<0.006 nm，室温热漂移<0.05 nm/s。

2. 纳米划痕测试单元：Z轴最大划痕力10 mN，X和Y轴最大摩擦力2 mN、摩擦力分辨率50 nN，最大划痕长度15 μm，最大划痕速度100 μm/s。

3. NanoDMA测试单元：频率范围0.1~300 Hz，最大动态振幅力5 mN，最大准静态力10 mN，载荷噪声层<30 nN， 最大动态振幅2.5 μm，最大准静态位移5 μm，位移噪声层<0.2 nm。

4. 模量成像测试单元：最佳测试频率200 Hz，一般采集像素点256×256，最大map面积60×60 μm2，力学性能Map分辨率≤5 nm。

主要功能

用于材料在微/纳尺度上的硬度、杨氏模量等测试。

样品要求

样品高度≤30 mm，测试表面必须电解抛光处理。

安放地点：先进制造工程大楼西楼一楼C101-4室

联系人及联系方式：方老师      180 6405 3868