
资产编号:01720039
设备名称:精研一体机
设备型号:Leica EM TXP
生产厂家:德国Leica
设备介绍
本设备具有切割、研磨、铣削、打孔、定位功能;不需转移样品,只需更换工具端以完成处理过程;能够对微小目标区域进行精确定位,定点样品处理;还能通过立体显微镜实现原位观察;可以实现高精度准确制样,简化制样工序,缩短制样时间,提高制样的成功率。
主要技术指标
1. 步进控制精度:0.5 μm、1 μm、10 μm、100 μm。
2. 切削速度:0.03~0.5 mm/s。
3. 冲钻直径:φ3 mm。
4. 观察角度:-30°~60°。
5. 样品微调角度:X、Y轴各±5°。
6. 配置的立体显微镜:可对样品进行实时观察,LED环形光源照明,可通过目镜标尺进行距离测量。
主要功能
用于微尺度样品切割/研磨/抛光、SEM样品离子束研磨/离子束切割前的预处理、TEM样品离子束减薄前φ3mm超薄圆片的制备、超薄切片前样品的修块。
样品要求
样品截面尺寸要求:1.5×1.5 mm2 至25×25 mm2。
安放地点:先进制造工程大楼西楼三楼C302室
联系人及联系方式:洪老师 132 3711 3691 柯老师 137 2038 0255