资产编号：02212654

设备名称：场发射俄歇电子能谱仪

设备型号：JAMP-9510F

生产厂家：日本JEOL

设备简介

本设备由肖特基场发射电子枪、氩离子枪、多通道俄歇电子探测器、半球静电能量分析器（HAS）、全自动五轴样品台等组成，能实现超高空间分辨率下样品最表层（4 nm以内）元素的定性分析及定量分析。结合氩离子刻蚀，可获得样品表面沿深度方向的元素分布状态；结合原位样品转移仓，可获得厌氧样品的表面化学分布。

主要技术指标

1. 俄歇电子能量：探测范围0~2500 eV，分辨率0.05%~0.6%连续可调。

2. 图像分辨率：俄歇电子图像分辨率8 nm@1 nA@25 kV，二次电子图像分辨率3 nm@10 pA@25 kV。

3. 俄歇元素灵敏度（CuLMM）：≥840 kcps@10 nA@10 kV。

4. 分析元素范围：Li 3~U 92。

5. 元素浓度检测极限：可达0.1 at%。

主要功能

可进行固态样品的纳米级深表层元素的定性和定量分析、化学态分析；也可定位到微区，对点、线、面进行采谱分析，得到面分布俄歇电子像；采集反射电子能量损失谱（REELS），并可执行样品荷电中和、表面清洁和深度剖析。广泛用于新材料、新能源等领域，特别是半导体材料、半导体薄膜工艺及失效分析等领域。

表面元素价态面分布

表面元素面分布（分析横向区域直径~20 nm，分析深度4 nm以内，分析元素Li 3~U 92）

样品要求

固态样品：截面尺寸≤10×10 mm2，厚度≤5 mm，与观察面相对的背面必须为平面，导电，干燥，无磁性，不含挥发性物质、腐蚀性物质、有毒物质、放射性物质等，不可带有镶嵌物料。

安放地点：先进制造工程大楼西楼一楼C101-3室

联系人及联系方式：高老师      159 2732 7825