资产编号：01113139

设备名称：场发射扫描电子显微镜

设备型号：JEM-7600

生产厂家：日本JEOL

设备简介

本设备兼顾冷场高分辨率和热场大束流，200 nA的大电流在保证高分辨率的同时，得到高速样品分析结果，对导电性差的样品也有很多解决办法。并且，配有牛津1.5 nm高分辨LABE背散射探头、INCA X-Max 50型能谱仪、EBSD等附件，可进行样品的形貌、成分、晶体结构等分析。

主要技术指标

1. 加速电压：0.1~30 kV。

2. 样品室直径：200 mm。

3. 放大倍数：25×~1000000×。

4. 束流强度：1 pA~200 nA。

5. 二次电子像分辨率：1.0 nm@15 kV，1.5 nm@1 kV。

6. 背散射电子像分辨率：1.5 nm。

7. 能谱仪：分析元素下限Be 4，能量分辨率优于127 eV@Mn Kα。

主要功能

样品表面的微观形貌观察及成分分析；结合EBSD，可实现织构及取向差分析，晶粒尺寸及形状的分析，晶界、亚晶及孪晶性质的分析，物相鉴定及其含量计算，应变测量等。

样品要求

1. 样品可以是块体、粉末、薄膜，但不可太重，样品尽量小。

2. 严禁测试以下几类样品：(1) 含有干扰电子束工作的铁、钴、镍等磁性成分的样品；(2) 含挥发性成分或在强电子束流下易分解的样品（如石蜡、橡胶、冷镶样品等）；(3) 含有有毒物质的样品。

3. 对于多孔类或易潮解样品，需提前进行真空干燥处理。

安放地点：先进制造工程大楼西楼一楼D101室

联系人及联系方式：吴老师     158 2730 7180