材料成形与模具技术全国重点实验室公共平台场发射俄歇电子能谱仪（JAMP-9510F）已经安装调试完毕，于2023年5月8日起试运行，欢迎师生预约测试！

型号: JAMP-9510F       厂家: 日本电子株式会社

主要技术指标：

电子枪：采用肖特基场发射电子枪；

俄歇电子能量侦测范围：0~2500 eV；

俄歇电子能量分辨率：0.05至 0.6%连续可调；

俄歇空间分辨率：8 nm @ 1 nA, 20 kV；

俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.6%分析器能量分辨率）：≥840 kcps @10 nA，10 kV；　

俄歇电子探测器：多通道探测器(MCD)；

样品台：全自动5轴样品台

可执行样品荷电中和、样品表面清洁和深度剖析功能。

主要功能：

1、固体样品的纳米级表面元素分析，化学态分析；同XPS一样，可进行全谱宽扫，以及某元素的窄谱精扫。

2、可定位到微区，对点、线、面进行采谱分析，也可得到面分布俄歇电子像。

3、配合氩离子刻蚀，可以进行材料的深度剖析。

功能特色：

1、用于分析最表层范围在单层~十层（10nm以下）的表面；

2、锂（Li）原子序数以后的所有元素都能分析；

3、能分析约10nm的微小区域；

4、 能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深  度剖面分析；

5、在某些情形下，根据谱峰形状的不同，可区分不同的化学结合状态；

6、浓度的检测极限可达0.1at%；

7、虽然存在有电子损伤、绝缘材料带电等问题，用低能中和离子枪大大地缓和了绝缘材料带电所带来的分析局限。

样品要求：

1、样品厚度不超过5mm，尺寸不超过10mm*10mm。样品固定方式是用导电双面胶将观察面的背面贴在样品台上，所以要求与观察面相对的背面必须为平面，样品的厚度是指观察面与其背面之间距离。

2、样品不含易挥发性物质，不可带有镶嵌料，在超高真空条件下不挥发。

3、样品不含磁性物质，或消磁后不表现磁性。

4、样品导电性良好。

5、样品不含腐蚀性物质，剧毒性物质或放射性物质。

6、样品干燥，不含结晶水，且样品本身不具有吸水性。

安放地点

先进制造大楼西楼B104-3

联系方式：

高鑫 15927327825

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