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场发射俄歇电子能谱仪(JAMP-9510F)

发布时间:2023-05-29 编辑:操莉 来源: 浏览次数:

仪器型号:JAMP-9510F

生产厂家:日本电子株式会社


主要技术指标:

电子枪:采用肖特基场发射电子枪;

俄歇电子能量侦测范围:0~2500 eV

俄歇电子能量分辨率:0.05 0.6%连续可调;

俄歇空间分辨率:8 nm @ 1 nA, 20 kV

俄歇元素灵敏度(Cu LMM)(0.6%分析器能量分辨率):≥840 kcps @10 nA10 kV; 

俄歇电子探测器:多通道探测器(MCD)

样品台:全自动5轴样品台

可执行样品荷电中和、样品表面清洁和深度剖析功能。

主要功能:

1、固体样品的纳米级表面元素分析,化学态分析;同XPS一样,可进行全谱宽扫,以及某元素的窄谱精扫。

2、可定位到微区,对点、线、面进行采谱分析,也可得到面分布俄歇电子像。

3、配合氩离子刻蚀,可以进行材料的深度剖析。

功能特色:

1、用于分析最表层范围在单层~十层(10nm以下)的表面;

2、锂(Li)原子序数以后的所有元素都能分析;

3、能分析约10nm的微小区域;

4、 能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深  度剖面分析;

5、在某些情形下,根据谱峰形状的不同,可区分不同的化学结合状态;

6、浓度的检测极限可达0.1at%;

7、虽然存在有电子损伤、绝缘材料带电等问题,用低能中和离子枪大大地缓和了绝缘材料带电所带来的分析局限。

样品要求:

1、样品厚度不超过5mm,尺寸不超过10mm*10mm。样品固定方式是用导电双面胶将观察面的背面贴在样品台上,所以要求与观察面相对的背面必须为平面,样品的厚度是指观察面与其背面之间距离。

2、样品不含易挥发性物质,不可带有镶嵌料,在超高真空条件下不挥发。

3、样品不含磁性物质,或消磁后不表现磁性。

4、样品导电性良好。

5、样品不含腐蚀性物质,剧毒性物质或放射性物质。

6、样品干燥,不含结晶水,且样品本身不具有吸水性。

安放地点

先进制造大楼西楼B104-3

联系方式:

高鑫 15927327825