仪器型号：JAMP-9510F

生产厂家：日本电子株式会社

主要技术指标：

电子枪：采用肖特基场发射电子枪；

俄歇电子能量侦测范围：0~2500 eV；

俄歇电子能量分辨率：0.05至 0.6%连续可调；

俄歇空间分辨率：8 nm @ 1 nA, 20 kV；

俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.6%分析器能量分辨率）：≥840 kcps @10 nA，10 kV；　

俄歇电子探测器：多通道探测器(MCD)；

样品台：全自动5轴样品台

可执行样品荷电中和、样品表面清洁和深度剖析功能。

主要功能：

1、固体样品的纳米级表面元素分析，化学态分析；同XPS一样，可进行全谱宽扫，以及某元素的窄谱精扫。

2、可定位到微区，对点、线、面进行采谱分析，也可得到面分布俄歇电子像。

3、配合氩离子刻蚀，可以进行材料的深度剖析。

功能特色：

1、用于分析最表层范围在单层~十层（10nm以下）的表面；

2、锂（Li）原子序数以后的所有元素都能分析；

3、能分析约10nm的微小区域；

4、 能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深  度剖面分析；

5、在某些情形下，根据谱峰形状的不同，可区分不同的化学结合状态；

6、浓度的检测极限可达0.1at%；

7、虽然存在有电子损伤、绝缘材料带电等问题，用低能中和离子枪大大地缓和了绝缘材料带电所带来的分析局限。

样品要求：

1、样品厚度不超过5mm，尺寸不超过10mm*10mm。样品固定方式是用导电双面胶将观察面的背面贴在样品台上，所以要求与观察面相对的背面必须为平面，样品的厚度是指观察面与其背面之间距离。

2、样品不含易挥发性物质，不可带有镶嵌料，在超高真空条件下不挥发。

3、样品不含磁性物质，或消磁后不表现磁性。

4、样品导电性良好。

5、样品不含腐蚀性物质，剧毒性物质或放射性物质。

6、样品干燥，不含结晶水，且样品本身不具有吸水性。

安放地点

先进制造大楼西楼B104-3

联系方式：

高鑫 15927327825